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イオンプレーティング装置の製造・販売事業

事業概要

1. 加工ノウハウを反映した装置の開発・製造

長年に渡り蓄積された当社のイオンプレーティング加工技術を反映した装置をご提供いたします。

2. 実験用・少量生産用機から、大容量加工機まで

お客様からのニーズに対応するよう、ディスカッションしながら設計していく「オーダーメイドシステム」を取っています。小型の実験用・少量生産用機から、大容量加工機まで様々なタイプのご要望にお応えします。

3. 納品後の立上げまで対応

イオンプレーティングの受託加工の豊富な実績と経験から、装置納品後の加工立上げまで責任を持ってサポートいたします。

真空蒸着からイオンプレーティング、スパッタリング装置まであらゆるご相談にお応えします。是非、ご相談ください。

イオンプレーティング設備紹介

HSM800-H6 (φ800mm)

装置外観

HSM1300-H20 (φ1300mm)

装置外観

HSM1600-H42 (φ1600mm)

装置外観
UBMスパッタリングカソード
真空ポンプ
真空ポンプ
操作パネル
ターゲット(装置内壁から見たカソード放電面)
アークイオンプレーティング放電(ゴールド色加工の場合)
UBMスパッタリング放電(ブラック色加工の場合)